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DSP （金刚石擦洗垫）是新一代清洗工具，主要用于半导体设备的预防性维护清洗。纯金刚石被涂在聚酰胺薄膜（聚酯薄膜）上。可提供不同的钻石大小和垫形状
为提高生产率而设计
更快 清洗
更少 颗粒和污染物的产生
更短 工具再鉴定时间
更短 预防性维护总实际
更长 保养周期
更长 工具生产可能性
适用于防止阳极氧化铝、陶瓷等关键表面的损坏…
擦洗领域
通过真空室的过程 :
离子注入
干蚀刻
CVD PVD
ALD
• 快速清洗工具和零件表面:
材料:
铝 / 阳极氧化铝
不锈钢
陶瓷
石英玻璃
石墨
Chemat 清洗过程
铝蚀刻
CVD 室清洗
CVD 圆顶清洗
介质蚀刻室清洗 (聚氧化物)
蚀刻室零件清洗 (插入件)
注入套管清洗
注入零件清洗 (Insitu or Exsitu)
金属蚀刻室清 DSP 粗糙度类型可用性
细 中 粗
Mesh
3 000
1 600
600
250
250D
220
170
Grit
2000
1350
800
450
400
360
320
280
180
120
µm equiv.
6
12
35
80
95
产品即将上线中！！！
021-5916 7109
189 1651 2119 （郑先生）
chinasales@chemat.com